[发明专利]一种晶圆薄膜层剥落清洗设备

摘要

本发明公开了一种晶圆薄膜层剥落清洗设备，其结构包括工作仓、警示灯、设备箱、检修仓门、加液仓、控制面板，工作仓上端与设备箱嵌固连接，设备箱前端与警示灯间隙配合，警示灯末端与工作仓顶部螺旋连接，工作仓下端与加液仓活动配合，加液仓右侧与检修仓门铰接连接，控制面板与加液仓顶部前端嵌固连接，工作仓包括载盘台、转动座、固定块、防脱压杆，本发明通过喷液柱将其方位进行调节，和四周的喷液柱同时配合，在增压挡板的配合下将其反转轮冲击动，使得拍击块对蚀刻液进行拍打，以至射出出液孔，有效的增加了液体喷射范围，使得晶圆盘底部的薄膜层可以在同一时间进行蚀刻，避免了晶圆四周有未清理干净的薄膜层残留物。