[发明专利]一种旋转电极镀膜系统有效
| 申请号： | 202110075454.5 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112899660B | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 邓必龙;郑利勇 | 申请（专利权）人： | 龙鳞（深圳）新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/509 | 分类号： | C23C16/509 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市坪山区坪山*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及气相沉积技术领域，尤其涉及一种旋转电极镀膜系统，其包括电极组件，包括：电极架组件、射频电极片和接地电极片；所述射频电极片和所述接地电极片平行间隔设置在所述电极架组件上，所述射频电极片与射频电源电连接，所述接地电极片与所述射频电极片相互绝缘；公转组件，用于驱动电极架组件绕设定中心转动；自转组件，与所述电极架组件传动连接，用于驱动所述电极架组件绕自身轴线转动。本发明能够提高成膜的均匀性和镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 电极 镀膜 系统 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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