[发明专利]机台监控系统与机台监控方法在审
| 申请号： | 202110068002.4 | 申请日： | 2021-01-19 |
| 公开（公告）号： | CN114253168A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡秀慧;彭义芳;林维斌 | 申请（专利权）人： | 南亚科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 浦彩华;姚开丽 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种机台监控系统与机台监控方法，机台监控系统包括检测装置与数据处理装置。检测装置对多个机台进行检测以产生多个机台对应的多个检测信息；数据处理装置连接检测装置，并用以：接收多个检测信息，并依据多个检测信息从多个机台选择至少一个异常机台；计算多个检测信息中的多个第一检测信息对应的多个参数值，其中多个第一检测信息对应于至少一个异常机台；以及依据多个参数值从多个第一检测信息选择至少一个异常检测信息，以利用至少一个异常检测信息对至少一个异常机台进行校正。借此，可有效地解决机台的工艺参数飘移的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 机台 监控 系统 方法 | ||
【主权项】：
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