[发明专利]一种用于确定滤波器绝缘层厚度的方法及装置有效
| 申请号： | 202110054476.3 | 申请日： | 2021-01-15 |
| 公开（公告）号： | CN112765849B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 苏波;史向龙;张智欣 | 申请（专利权）人： | 北京航天微电科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 冯瑛琪 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于确定滤波器绝缘层厚度的方法，包括：采用电磁仿真软件创建滤波器的滤波器仿真模型；对滤波器仿真模型的所述芯片版图上的绝缘层设置不同的绝缘层厚度；通过电磁仿真软件，对不同绝缘层厚度下的滤波器仿真模型进行电磁仿真，以获取滤波器在不同绝缘层厚度下的仿真参数报文；获取滤波器的换能器声学参数报文；根据不同绝缘层厚度下的仿真参数报文与换能器声学参数报文进行声电协同仿真，以获得滤波器在不同所述绝缘层厚度下输出的电性能曲线；根据不同绝缘层厚度下的电性能曲线获得的电性能参数，确定所需的滤波器的所述绝缘层厚度。本发明实施例通过获得的绝缘层厚度，为滤波器产品的研发与生产工艺提供了依据。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 确定 滤波器 绝缘 厚度 方法 装置 | ||
【主权项】：
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