[发明专利]调制传递函数测试装置有效
申请号: | 202110051636.9 | 申请日: | 2021-01-14 |
公开(公告)号: | CN112880975B | 公开(公告)日: | 2023-01-24 |
发明(设计)人: | 朱春霖;赵东峰;董立超;刘宝山;刘艺;艾立夫;彭旭;金成滨;李晓萱 | 申请(专利权)人: | 歌尔股份有限公司 |
主分类号: | G01M11/02 | 分类号: | G01M11/02 |
代理公司: | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人: | 梁馨怡 |
地址: | 261031 山东省潍*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开一种调制传递函数测试装置,该调制传递函数测试装置包括光源、样板、第一光学元件、第二光学元件和成像件,样板上设有成像图案,第一光学元件用于分离不同波段的光线,第二光学元件用于调节光线的出射角度,成像图案、第一光学元件、第二光学元件和成像件依次设置于光源的光路上,待测件放置于样板之后以及第一光学元件之前的光路上。本发明技术方案的第一光学元件能将复合光分离成不同波段的单色光,再通过第二光学元件调节光线的出射角度,从而在成像件上形成不同单色光的投影,然后获取不同单色光的成像数据,得到待测件在不同波段的单色光下的MTF数值,因此整个测试可以一次完成,节省了测试时间,提高了测试效率。 | ||
搜索关键词: | 调制 传递函数 测试 装置 | ||
【主权项】:
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