[发明专利]一种利用数字测试通道测量电容量的方法在审
| 申请号： | 202110026570.8 | 申请日： | 2021-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN112834826A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 魏津;张经祥;胡雪原 | 申请（专利权）人： | 胜达克半导体科技(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/26 | 分类号： | G01R27/26 |
| 代理公司： | 上海专益专利代理事务所(特殊普通合伙) 31381 | 代理人： | 方燕娜;王雯婷 |
| 地址： | 201799 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，具体地说是一种利用数字测试通道测量电容量的方法。其特征在于包括如下步骤：S1，数字测试通道通电，根据被测芯片的预估电容范围选择可调采样电阻档位；S2，设置参数测量DAC的电压为0V；S3，设置电压钳位DAC、高阈值电压、低阈值电压参数；S4，设置PPMU单元的工作模式为强制恒流输出；S5，建立PPMU单元输出连接，切断逻辑电路连接；S6，复位TMU单元计数器，开始TMU单元测量；S7，设置参数测量DAC的电压为正电压范围的50%；S8，TMU单元测量完成，读取TMU单元测量结果；S9，读取测试时间；S10，设置参数测量DAC的电压为0V；S11，计算电容值并输出。同现有技术相比，利用数字测试通道直接测量芯片引脚附加的电容，方便快捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 数字 测试 通道 测量 容量 方法 | ||
【主权项】：
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