[实用新型]扫描电镜分析测试多功能样品台有效
| 申请号： | 202023343497.7 | 申请日： | 2020-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN214097222U | 公开（公告）日： | 2021-08-31 |
| 发明（设计）人： | 张玉桧;黄仁忠;谢迎春;张吉阜;张科杰;王高民;代明江 | 申请（专利权）人： | 广东省科学院新材料研究所 |
| 主分类号： | G01N23/2204 | 分类号： | G01N23/2204;G01N23/2251 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 覃蛟 |
| 地址： | 510000 广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种扫描电镜分析测试多功能样品台，属于扫描电镜设备技术领域。该扫描电镜分析测试多功能样品台包括支座和载物台，支座具有至少两个连接孔，载物台的数量大于或等于2且不超过连接孔的数量，每个载物台对应可拆卸连接于一个连接孔。载物台选自EBSD测试载物台、TKD测试载物台、EDS测试载物台或截面高倍形貌测试载物台。该扫描电镜分析测试多功能样品台能够对多个样本同时进行观测，避免了EBSD、TKD、EDS或者高倍数形貌观察样品飘移问题，避免更换样品，提高了测试效率。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描电镜 分析 测试 多功能 样品 | ||
【主权项】：
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