[实用新型]离子注入机用护板及离子注入机有效
| 申请号： | 202022142379.3 | 申请日： | 2020-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN212725222U | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 吴奥明;李前凤 | 申请（专利权）人： | 深圳亿博尔电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙) 44394 | 代理人： | 张凡 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种离子注入机用护板，包括若干用于遮挡离子注入机工艺腔内壁的单元板，若干所述单元板可拆卸的设于工艺腔内。本实用新型还公开一种离子注入机，包括工艺腔，所述工艺腔内可拆卸的设有护板。本实用新型提供的离子注入机用护板及离子注入机，提高了离子注入机的稼动率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子 注入 机用护板 | ||
【主权项】：
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