[实用新型]一种用于锗片甩干的甩干盘及包含它的氮气式锗片甩干装置有效
| 申请号： | 202021837590.0 | 申请日： | 2020-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN212806250U | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张成龙;柯尊斌;王卿伟 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B11/18;F26B21/14 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于锗片甩干的甩干盘及包含它的氮气式锗片甩干装置，一种用于锗片甩干的甩干盘，包括底盘和支撑柱；底盘为圆形，底盘上均布有透气孔；支撑柱有结构相同、大小相等的三根以上，所有的支撑柱均竖直地分布在底盘上表面的周边；支撑柱包括连接柱和限位柱，连接柱的底部连接在底盘的上表面上，限位柱的直径小于连接柱的直径，限位柱设在支撑柱顶部中央的位置、形成支撑台阶。本实用新型氮气式锗片甩干装置，在锗片的甩干过程中，可利用氮气实现对锗片正反面的均匀保护，保证在甩干过程晶圆表面不受污染，防止氧化，提高了晶圆表面洁净度，为晶圆表面质量提供了保障；结构简单，操作方便，值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 锗片甩干 甩干盘 包含 氮气 式锗片甩干 装置 | ||
【主权项】：
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