[实用新型]应用于湿法腐蚀机的加液装置及湿法腐蚀机

摘要

本实用新型实施例涉及半导体制造有关的湿法腐蚀技术领域，具体而言，涉及一种应用于湿法腐蚀机的加液装置及湿法腐蚀机，包括加液槽体、卡设件、第一固定件和第二固定件。其中，卡设件将加液槽体分隔为放置槽和导液槽，并在加液槽体的外周壁分别设置不同长度的第一固定件和第二固定件。在使用上述加液装置时，将加液装置设置于化剂槽的边沿并使导液槽朝向化剂槽，然后将化剂瓶放置于放置槽并通过卡设件对化剂瓶的瓶颈进行固定，通过第一固定件和第二固定件形成的高度差使得化剂瓶内的化剂液通过导液槽平稳地流向化剂槽中。这样，可以避免迸溅的化剂液可能产生的潜在危害和风险。