[实用新型]一种用于微型元件转移的转移承载装置有效
| 申请号： | 202020938961.8 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN212182274U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 李强;许时渊;孔琴;向毅 | 申请（专利权）人： | 重庆康佳光电技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/677;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 江舟 |
| 地址： | 402760 重庆市璧*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于微型元件转移的转移承载装置，该用于微型元件转移的转移承载装置包括光源模块；光调制模块，设置在光源模块的出光侧；转移安装模块，设置在光调制模块的出光侧；其中，转移安装模块包括间隔设置的遮光挡墙以及用于放置微型元件的转移元件，转移元件设置在各个相邻的遮光挡墙之间。该用于微型元件转移的转移承载装置，通过间隔设置的遮光挡墙，可有效的防止光线对不需要转移区域的影响，有助于实现更精确的微型元件的选择性转移。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 微型 元件 转移 承载 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
