[实用新型]一种液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置有效
| 申请号： | 202020791995.9 | 申请日： | 2020-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN211858606U | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 程言军;蒋燕红;蒋来红 | 申请（专利权）人： | 安徽帝显电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;G02F1/1333 |
| 代理公司： | 北京和联顺知识产权代理有限公司 11621 | 代理人： | 李照 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市郑*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置，包括基座和加工仓，加工仓安装在基座上，加工仓的内侧安装有加工台和激光发射器，加工仓的侧壁上还安装有调节组件。本液晶显示屏生产用ITO膜蚀刻装置，调节组件可以对加工台进行调节，使其移动加工台到不同的区域，以满足不同的加工效果，其中封板和负压吸尘罩的设置，可以避免加工仓内产生的烟雾溢出，安全性好，其中当需要调节加工台位置时，可以通过转动转盘来带动第二圆柱以进行初步的调节，然后转动旋钮对加工台位置进行的微调，即通过初步调节和微调这样能保证加工台的位置调节精准，同时操作过程简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 液晶显示屏 生产 ito 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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