[发明专利]一种基于快速傅里叶变换的薄膜厚度测量方法有效
| 申请号： | 202011635340.3 | 申请日： | 2020-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN112629421B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 郭春付;李江辉;石雅婷;李伟奇;张传维 | 申请（专利权）人： | 武汉颐光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06;G06F16/901;G06F17/14 |
| 代理公司： | 武汉蓝宝石专利代理事务所(特殊普通合伙) 42242 | 代理人： | 廉海涛 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区汤逊湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种基于快速傅里叶变换的薄膜厚度测量方法，从仪器设备得到薄膜的反射光谱数据或透射光谱数据，然后对数据进行加窗处理，之后进行快速傅里叶变换FFT，经过等效折射率计算以及坐标变换，得到薄膜的厚度初值。本发明克服了薄膜较厚时初值计算不准确，以及仅有一种光谱数据导致信息不足无法计算厚度的问题，通过计算可以把初值限定到非常接近真实值的范围内。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 快速 傅里叶变换 薄膜 厚度 测量方法 | ||
【主权项】：
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