[发明专利]硼-镓共掺单晶制备设备及其制备方法有效
| 申请号： | 202011578046.3 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112760704B | 公开（公告）日： | 2023-03-17 |
| 发明（设计）人： | 韩庆辉;张晓朋;赵聚来 | 申请（专利权）人： | 晶澳太阳能有限公司;晶澳太阳能越南有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 盛安平 |
| 地址： | 055550 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本公开涉及一种硼‑镓共掺单晶设备及其制备方法，所述设备包括单晶炉，二次加料装置，提拉装置和单独的加料小管，制备方法包括以下步骤：步骤S1：通过二次加料装置向单晶炉加入第一原料，所述第一原料包括以下组分：第一硅料80000‑120000重量份，掺硼合金80‑120重量份，纯镓0.5‑2重量份，熔化第一原料，熔化后的第一原料结晶得到第一单晶棒；从石英坩埚内取出第一单晶棒；步骤S2：通过二次加料装置向单晶炉加入第二原料，所述第二原料包括以下组分：第二硅料160000‑200000重量份，掺硼合金160‑200重量份，纯镓0.5‑2重量份，熔化第二原料，熔化后的第二原料结晶得到第二单晶棒。 | ||
| 搜索关键词： | 镓共掺单晶 制备 设备 及其 方法 | ||
【主权项】：
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