[发明专利]一种离子植入机及离子植入系统在审
| 申请号： | 202011577908.0 | 申请日： | 2020-12-28 |
| 公开（公告）号： | CN112701026A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 蔡裕棠 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造（济南）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 骆宗力 |
| 地址： | 250101 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种离子植入机及离子植入系统，在绝缘侧壁朝向真空腔体一侧裸露面形成防粘涂层，由于防粘涂层与反应气体的附着力小于绝缘侧壁朝向真空腔体一侧表面与反应气体的附着力，进而能够降低真空腔体中反应气体附着于防粘涂层表面的几率，降低由于反应气体附着而导致导电基底和导电外壳之间电连通的情况，提高了离子植入机的使用寿命和性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 离子 植入 系统 | ||
【主权项】：
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