[发明专利]一种压电单晶驱动器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011567974.X | 申请日： | 2020-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN112786776A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王三红;徐卓 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/09;H01L41/277 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 贺小停 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供的一种压电单晶驱动器及其制备方法，包括压电单晶堆，压电单晶堆包括多个单晶片，多个单晶片(101)沿其厚度方向堆叠，且多个单晶片(101)之间电路并联连接；所述单晶片(101)的厚度方向为011方向、长度方向为100方向、宽度方向选取0‑11方向；本发明在三维定向下的单晶片，其横向压电系数为2000pC/N以上，使得其在驱动电压相同情况下，其层数少，输出形变大、工作频率高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 压电 驱动器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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