[发明专利]一种PERC太阳能电池背钝化膜、其制备方法及PERC太阳能电池

摘要

本发明提供了一种PERC太阳能电池背钝化膜、其制备方法及PERC太阳能电池，所述制备方法包括：将前处理后的硅片置于管式PECVD设备中，通入含铝前驱体和含氧前驱体，升温后发生反应，在硅片背面沉积形成氧化铝层；沉积完成后冷却，通入含硅前驱体和含氮前驱体，在氧化铝层基础上依次沉积形成氮氧化硅层和至少一层氮化硅层，得到太阳能电池背钝化膜。本发明通过在硅片背面沉积单面氧化铝层以及多层含氮硅层，共同构成背钝化膜，实现硅片的背钝化效果，且单面氧化铝层能够克服双面氧化铝时正面会抵消PN结的电势缺陷，还可灵活调节膜层的组合，有效降低载流子的复合速率，提高太阳能电池的短路电流和开路电压，进而提高光电转换效率。