[发明专利]具有透明工件表面模式的计量系统有效
| 申请号： | 202011504114.1 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN113008789B | 公开（公告）日： | 2022-05-10 |
| 发明（设计）人： | R.K.布莱尔 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/88 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 邸万奎 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种设有透明工件表面模式的计量系统，对于该计量系统，该系统被配置为在沿着Z高度方向靠近工件的多个位置上改变聚焦位置。获取图像堆栈，其中图像堆栈的每个图像包括透明或半透明的第一表面(例如工件的上表面)以及通过第一表面至少部分可观察的至少第二表面。基于图像堆栈确定多个聚焦曲线(例如，其中利用图案投影来提高对比度)，对于该多个聚焦曲线，可以确定每个聚焦曲线中分别对应于第一表面、第二表面等的第一局部聚焦峰、第二局部聚焦峰等。显示包括所选择表面的图像，并且对于该图像，可以测量所选择/所显示的表面的特征。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 透明 工件 表面 模式 计量 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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