[发明专利]一种工业级高浓度HF精制为电子级的FTrPSA分离与提纯方法有效
申请号: | 202011490114.0 | 申请日: | 2020-12-16 |
公开(公告)号: | CN112607707B | 公开(公告)日: | 2022-05-20 |
发明(设计)人: | 钟娅玲;汪兰海;钟雨明;陈运;唐金财;蔡跃明 | 申请(专利权)人: | 浙江天采云集科技股份有限公司 |
主分类号: | B01D53/047 | 分类号: | B01D53/047;C01B7/19 |
代理公司: | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人: | 轩勇丽 |
地址: | 314400 浙江省嘉兴市海宁*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: |
本发明公开了一种工业级高浓度HF精制为电子级的FTrPSA分离与提纯方法,涉及以工业级高浓度氟化氢(HF)为原料制备电子级HF的净化提纯,利用工业级AHF(气体)中各组分(HF为有效组分,H |
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搜索关键词: | 一种 工业 浓度 hf 精制 电子 ftrpsa 分离 提纯 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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