[发明专利]一种多平台联动提效机构有效
| 申请号： | 202011489734.2 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN112230120B | 公开（公告）日： | 2021-03-26 |
| 发明（设计）人： | 杨栓;关姜维;刘栋栋 | 申请（专利权）人： | 上海伟测半导体科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 上海领洋专利代理事务所(普通合伙) 31292 | 代理人： | 罗晓鹏 |
| 地址： | 201599 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种多平台联动提效机构，包括探针台、至少两台测试机和一控制系统；其中，所述控制系统包括一信号配置单元和一路径规划单元，所述信号配置单元独立设置，且分别与所述探针台和所述测试机之间通过GPIB端口连接，实现所述探针台与所述测试机之间的信号传输。通过设置一个独立的信号配置单元，使用GPIB端口将探针台和测试机互相通讯的信号信息收集到主控制板上，由主控芯片的程序模块将信号进行拆分和合并，可以更灵活的使用测试机配置；路径规划单元能够生成控制承载所述待测晶圆的所述探针台移动路径有关的路径策略，以控制所述探针台的载台执行所述路径策略，完成所述待测晶圆在不同位姿下移动，以提高测试的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 平台 联动 机构 | ||
【主权项】：
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