[发明专利]一种偏振反射测量系统及结构参数测量方法在审
| 申请号： | 202011488791.9 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN112730266A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 张传维;王鑫辉;姚远;刘世元 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G01N21/21 | 分类号： | G01N21/21;G01N21/27;G01N21/25;G01N21/47;G01N21/01 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 孔娜;李智 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体测试测量领域，并具体公开了一种偏振反射测量系统及结构参数测量方法，其包括从上至下同轴设置的光谱仪探测器、聚焦透镜、第一分光镜、第二分光镜、偏振片、反射式物镜和样品台，第一分光镜一侧设有照明光源、管镜和CCD相机，照明光源的照明光经过第一分光镜、第二分光镜、偏振片、反射式物镜、待测样品，然后原路返回，经管镜汇聚到CCD相机中成像；第二分光镜一侧设置有测量光源和准直透镜，测量光源的测量光经过准直透镜、第二分光镜、偏振片、反射式物镜、待测样品上，然后原路返回至第二分光镜，并由聚焦透镜导入光谱仪探测器中。本发明加入成像光路并调整偏振片位置，可精确表征测量区域，同时提高测量精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 偏振 反射 测量 系统 结构 参数 测量方法 | ||
【主权项】：
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