[发明专利]一种晶圆检测双镜头模组在审
| 申请号： | 202011482902.5 | 申请日： | 2020-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN112485879A | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 梅力;胡冬云 | 申请（专利权）人： | 江苏卓玉智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B7/02 | 分类号： | G02B7/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 226300 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆检测双镜头模组，包括安装座、第一连接座和第二连接座，安装座下端面分别安装第一安装孔和第二安装孔，所述第一连接座、第二连接座分别通过装夹机构固定于第一安装孔和第二安装孔，第一连接座螺纹连接第一镜头套筒安装座，第一镜头套筒安装座上安装第一镜头套筒，第一镜头套筒上安装第一镜头，第二连接座螺纹连接第二镜头套筒安装座，第二镜头套筒安装座上安装第二镜头套筒，第二镜头套筒上安装第二镜头，本发明结构设计新颖，采用双镜头检测，能够提高检测精度，此外，双镜头便于拆装和保养，延长了其使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 镜头 模组 | ||
【主权项】：
暂无信息
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