[发明专利]一种集成式多功能微机电传感器有效
| 申请号： | 202011446149.4 | 申请日： | 2020-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN112456430B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 巩书凯;陈虎;巴军;邵慧 | 申请（专利权）人： | 重庆忽米网络科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 重庆博凯知识产权代理有限公司 50212 | 代理人： | 黄河 |
| 地址： | 400041 重庆市高新*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成式多功能微机电传感器，其通过把信号采集电路、模数转换电路分别集成在不同的多通道信号采集电子晶圆和模数转换电子晶圆上，把多通道信号采集电子晶圆设计布置在模数转换电子晶圆上，把多个微机电传感元件布置在多通道信号采集电子晶圆上，实现了传感元件、采集电路、模数转换电路结构的紧凑性集成布局设计，减小了横向布设面积，有利于多功能微机电传感器产品的小型化；同时，还可以进一步的通过对多通道信号采集电子晶圆的结构优化设计，减少不同通道间的信号互扰问题，提升集成式多功能微机电传感器产品的工作稳定性。由此可见，本发明的集成式多功能微机电传感器解决方案具备很好的市场应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 集成 多功能 微机 传感器 | ||
【主权项】：
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