[发明专利]一种晶圆加工用自动卸料研磨机在审
| 申请号： | 202011337114.7 | 申请日： | 2020-11-25 |
| 公开（公告）号： | CN112497073A | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 李小香 | 申请（专利权）人： | 广州赢帝工业设计有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 广东省畅欣知识产权代理事务所(普通合伙) 44631 | 代理人： | 齐军彩 |
| 地址： | 510700 广东省广州市黄埔区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆加工用自动卸料研磨机，其结构包括研磨机、位移台、滑道、设备箱、控制器、载台、卸料台，研磨机与位移台内部法兰连接，滑道与设备箱右壁焊接连接，设备箱与控制器末端铰接连接，卸料台固定在研磨机右侧与其间隙配合，载台上表面与设备箱底部螺栓固定，载台右侧与卸料台左侧焊接连接，研磨机包括上磨盖、晶圆卡台、辅助下盘、传动机，位移台后壁与滑道滑动配合，本发明通过传动机在对上磨盖与辅助下盘的带动下，通过旋转，将内环表面的嵌固的散热槽开启，由散热槽内的挡板实现展开，使其内部加工时的热量能够通过导流管倒出，有效的解决了内部磨盘在长时间加工发热现象的出现，避免了晶圆预热加快氧化问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶圆加 工用 自动 卸料 研磨机 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广州赢帝工业设计有限公司，未经广州赢帝工业设计有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011337114.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：应用于车载OBC及DCDC电源的集成器件
- 下一篇：治疗高血压病的口服药物
