[发明专利]一种铝靶材与铝合金背板的装配方法有效
申请号: | 202011305209.0 | 申请日: | 2020-11-19 |
公开(公告)号: | CN112475802B | 公开(公告)日: | 2023-02-03 |
发明(设计)人: | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;陈石;廖培君 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00;C21D9/00;C22F1/04;C23C14/34;C23G1/12;B23K103/10 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种铝靶材与铝合金背板的装配方法,所述方法包括以下步骤:(1)对所述铝合金背板进行固溶处理和时效处理,得到硬度增强铝合金背板;(2)对步骤(1)得到的所述硬度增强铝合金背板的焊接面进行车削螺纹,并对所述铝靶材以及铝合金背板进行酸洗处理,得到预处理后的铝靶材以及铝合金背板;(3)将所述预处理后的铝靶材以及铝合金背板进行装配并置于包套中,抽真空后进行热等静压焊接。所述装配方法在不影响铝靶材晶粒大小的同时有效提高了铝合金背板的硬度,也可以保证背板和铝靶材有较高的焊接结合强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 铝靶材 铝合金 背板 装配 方法 | ||
【主权项】:
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