[发明专利]一种氟化氢的提纯方法及提纯系统在审
| 申请号： | 202011302254.0 | 申请日： | 2020-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN112374463A | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 金向华;徐聪;孙猛;王新喜 | 申请（专利权）人： | 苏州金宏气体股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B7/19 | 分类号： | C01B7/19 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 215152 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氟化氢的提纯方法，包括：S1)将待纯化氟化氢液体加热，得到气态氟化氢；S2)将所述气态氟化氢与浓硫酸反应，得到反应后的气体与稀硫酸；S3)将所述反应后的气体冷凝，得到冷凝后的氟化氢；S4)将所述冷凝后的氟化氢进行低温精馏，得到高纯氟化氢。与现有技术相比，本发明利用氟硅酸与浓硫酸反应的性质，去除了氟化氢产品中难以除去的氟硅酸杂质，提高了产品的纯度；进一步的，通过低温精馏除去金属离子，最终得到脱除了氟硅酸及金属离子的高纯氟化氢气体，产品纯度达到5N，金属离子含量低于10ppb，使所得产品可应用于半导体加工处理行业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氟化氢 提纯 方法 系统 | ||
【主权项】：
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