[发明专利]搬送路在审

专利信息
申请号: 202011300368.1 申请日: 2020-11-19
公开(公告)号: CN112825304A 公开(公告)日: 2021-05-21
发明(设计)人: 中幸一;山木响子 申请(专利权)人: 株式会社迪思科
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 乔婉;于靖帅
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供搬送路,其能够高效且安全地搬送被加工物。向加工装置搬送被加工物的搬送车在该搬送路上行驶,该搬送路具有设置于该加工装置的上方并且上表面平坦的路面面板,在该路面面板的该上表面的与该搬送车的车轮接触的位置,露出有导电性部件。优选该导电性部件覆盖该路面面板的该上表面的整个区域。更优选该导电性部件包含碳纤维强化塑料。进一步优选该导电性部件接地。进一步优选多个该路面面板在与该上表面平行的方向上连接。能够抑制因搬送路与搬送车的车轮进行摩擦而产生的静电以及该静电的蓄积,从而能够防止对被加工物带来不良影响。
搜索关键词: 搬送路
【主权项】:
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