[发明专利]一种大口径平面干涉仪旋转平移法绝对检验的装置及方法有效
| 申请号： | 202011280227.8 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112525099B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 袁群;第五蔻蔻;高志山;郭珍艳;刘威剑;车啸宇;谢澎飞;周俊涛 | 申请（专利权）人： | 南京理工大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 朱沉雁 |
| 地址： | 210094 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大口径平面干涉仪旋转平移法绝对检验的装置及方法，该装置包括碳化硅平面反射镜及其承载机构和平移机构；承载机构可以实现碳化硅平面反射镜的360°旋转，平移机构可以实现碳化硅平面反射镜及承载机构在水平方向上的位移。采用8次旋转加1次平移的方法对口径在600mm至2000mm之间的平面干涉仪进行绝对检验，使得绝对检验精度PV值优于百分之一波长。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 口径 平面 干涉仪 旋转 平移 绝对 检验 装置 方法 | ||
【主权项】：
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