[发明专利]一种光学纳米聚焦方法及装置有效
| 申请号： | 202011279805.6 | 申请日： | 2020-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN112327477B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 陈厚凯;张聿全;闵长俊;袁小聪 | 申请（专利权）人： | 深圳大学 |
| 主分类号： | G02B27/00 | 分类号： | G02B27/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 张金福 |
| 地址： | 518060 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种光学纳米聚焦方法及装置，所述装置包括：探针、样品扫描台、聚焦物镜、分束镜、拉曼光谱采集系统、旋涡光束发生器、激光光源、控制系统；所述方法包括：S1：利用纳米加工技术在探针表面上制备纳米结构；S2：将探针与聚焦物镜和分束镜同轴安置；S3：利用激光光源发出普通光束，并将普通光束转换为旋涡光束；S4：将旋涡光速进行聚焦产生环形分布光斑；S5：聚焦光束的环形光束照射到金属探针的表面，探针的表面的纳米结构被环形聚焦光束照射后，激发传播模式的表面等离激元波；S6：表面等离激元波沿金属探针表面传播，在探针尖端汇聚产生纳米聚焦光斑。本发明可降低常规衍射聚焦光斑的作用，提高纳米聚焦光束的作用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 纳米 聚焦 方法 装置 | ||
【主权项】：
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