[发明专利]自动对焦方法及系统有效
| 申请号： | 202011197383.8 | 申请日： | 2020-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN112461853B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 刘文强;曾胜;龚博;喻超凡;朱礼平 | 申请（专利权）人： | 珠海市奥德维科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;H04N5/232 |
| 代理公司： | 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 | 代理人： | 俞梁清 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自动对焦方法及系统，其中自动对焦方法包括步骤：在拍摄机构的视野中设置边界特征区域A；拍摄机构和被测物相对移动，拍摄机构在相对移动的过程中对被测物进行拍摄获取图像，图像包含被测物区域B和边界特征区域A，记录拍摄时拍摄机构与被测物的相对位置信息；获取图像的清晰程度，判断清晰程度是否达到峰值；如果清晰程度达到峰值，则记录清晰程度达到峰值时对应的相对位置信息，完成对焦。本申请的自动对焦方法可实现晶圆检测过程中的自动对焦，提高对焦效率，并且能够避免出现无法判断是否对焦成功的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 自动 对焦 方法 系统 | ||
【主权项】：
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