[发明专利]一种硅基超宽谱光子吸收器及其制备方法

摘要

本发明属纳米光子学领域，为解决现有技术中硅基光学和光电器件不能在紫外、可见到近红外波段实现高效吸收的技术问题，提出一种硅基超宽谱光子吸收器及其制备方法，包括第一金属薄膜层、第一无序纳米碗阵列层、硅基底、第二无序硅纳米碗阵列层、第二金属薄膜层；双面无序金属/硅纳米碗阵列的复合结构，可以将200～2500nm波段范围内的入射光子进行大于80％的高效吸收，且对入射光的偏振和角度不敏感，在光电探测与反探测、太阳能电池和光电传感等领域具有广泛应用前景。