[发明专利]一种背照式电荷域全局快门图像传感器及其制作方法

摘要

本发明提供一种背照式电荷域全局快门图像传感器及其制作方法，该图像传感器包括衬底、光电二极管、电荷存储节点、深沟槽隔离结构、介质层及电荷传输晶体管，其中，光电二极管及电荷存储节点均位于衬底中，且在水平方向上间隔预设距离，深沟槽隔离结构位于光电二极管与电荷存储节点之间，并在垂直方向上贯穿衬底，电荷传输晶体管位于介质层中，且电荷传输晶体管在衬底上的垂直投影与光电二极管及电荷存储节点均部分重叠。本发明采用金属遮光层和贯通衬底的背面深沟槽隔离结构将电荷存储节点完全遮蔽，与光电二极管实现衬底内的完全隔离，并在衬底外制备传输晶体管来实现光电二极管到电荷存储节点的光电子传输，可以有效抑制寄生光效应的影响。