[发明专利]一种扫描电镜中凸出AFM探针在纳米线表面的压力传感方法有效
| 申请号： | 202011187548.3 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112362909B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 曲钧天;张震 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24;G01Q60/38 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种单根纳米线表面压力传感方法，尤其涉及一种在扫描电子显微镜中的凸出AFM探针在纳米线表面的压力传感方法，该方法可以为扫描电镜中利用凸出AFM探针对单根纳米线施加定量的压力提供依据。该压力传感方法由三个步骤组成：1)基于视觉追踪的AFM悬臂梁弯曲挠度计算，2)AFM刚度矫正，3)AFM转矩矫正。本发明提出的压力传感方法可以和凸出AFM具有可视化探针(俯视角度)的优点相结合，并有效应用于扫描电镜中的纳米材料操控和表征等领域，为向单根纳米线定量精确施加压力提供了实时的压力反馈。该传感方法计算过程简洁、高效、应用范围广，适用于不同尺寸的单根纳米线的表面压力传感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描电镜 凸出 afm 探针 纳米 表面 压力 传感 方法 | ||
【主权项】：
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