[发明专利]一种旋转靶材的清洗装置及方法在审
| 申请号： | 202011185117.3 | 申请日： | 2020-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN112192327A | 公开（公告）日： | 2021-01-08 |
| 发明（设计）人： | 王英洁;文崇斌;胡智向;朱刘 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B27/033;B24B41/02;B24B41/06;B24B47/12;B24B47/20;B24B55/06 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及溅射靶材的加工装置技术领域，公开了一种旋转靶材的清洗装置及方法，其包括机架、安装机构、打磨喷涂机构以及控制装置；安装机构包括旋转驱动装置和用于定位衬管的位置的定位组件，旋转驱动装置和定位组件均安装在机架上，旋转驱动装置能够驱动定位组件转动，以带动衬管在机架上转动；打磨喷涂机构包括行走驱动装置、第一移动块、压力装置、喷液装置、打磨件和抛光件，行走驱动装置安装在机架上，行走驱动装置与第一移动块连接，行走驱动装置能驱动第一移动块在机架上移动，压力装置和喷液装置均安装在第一移动块上，打磨件和抛光件均连接在压力装置上。本发明能在保证靶材质量的情况下，能确保靶材溅射镀膜时的均匀性和镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 清洗 装置 方法 | ||
【主权项】：
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