[发明专利]一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法在审
| 申请号： | 202011171694.7 | 申请日： | 2020-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN112467025A | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 李忠文;申慧;王延宗;宋光;李冠男;张正中 | 申请（专利权）人： | 淮阴工学院 |
| 主分类号： | H01L43/12 | 分类号： | H01L43/12 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 张华蒙 |
| 地址： | 223003 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用针尖电场在铁电薄膜中构建周期性条带畴的方法，属于微纳结构技术领域，通过脉冲激光沉积技术生长铁酸铋薄膜，低氧压的生长条件保证了薄膜中含有缺陷，利用的电场，是在压电力显微镜的针尖上施加偏压产生的针尖电场；薄膜中的面外、面内极化在针尖电场作用下同时翻转、重新定向，形成纳米尺度的高密度周期性条带畴；构建的条带畴具有良好的稳定性，可用于高密度铁电随机存取存储器。本发明使用的制备方法，脉冲激光沉积技术成熟，基于扫描探针显微镜的矢量压电力显微技术操作简单，具备很好的实用性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 利用 针尖 电场 薄膜 构建 周期性 条带 方法 | ||
【主权项】：
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