[发明专利]一种局域发射极的太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明涉及一种局域发射极的太阳能电池及其制备方法。该方法包括：S1、对硅片进行预处理，形成双面制绒结构；S2、采用模具对硅片的正面制绒结构进行局域反应离子刻蚀，使得局域刻蚀部分的制绒结构的宽度和高度同时减小；S3、在硅片的正面进行掺杂，以在局域刻蚀部分形成低方阻的重掺杂区，在未刻蚀部分形成高方阻的轻掺杂区；S4、对硅片进行后处理。本发明利用电池表面微观形貌的差异，通过单次扩散在电池前表面引入局域发射极结构，制备的局域重掺杂区域的表面离子浓度高，方阻低，降低了金属复合和接触电阻；轻掺杂区域离子浓度相对较低，方阻较高，降低了发射极复合。