[发明专利]光波导制备方法及光波导在审
| 申请号： | 202011094131.2 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN111983752A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 杜凯凯;赵东峰;李琨;臧法珩;赵恩;程鑫;杨镇源 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/136 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 关向兰 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光波导制备方法及光波导，其中，所述光波导制备方法，包括以下步骤：提供一衬底，所述衬底上形成有待刻蚀基体，所述待刻蚀基体为无机材料；于所述待刻蚀基体一侧涂覆光刻胶；对所述光刻胶进行纳米压印，以形成纳米压印掩膜；以及采用干法刻蚀对所述纳米压印掩膜和所述待刻蚀基体进行刻蚀，以除去纳米压印掩膜，并在所述待刻蚀基体上形成目标光栅。本发明通过采用无机材料作为待刻蚀基体，在采用干法刻蚀在待刻蚀基体上形成目标光栅，所形成的目标光栅为无机材料，使目标光栅能够具有较高的可靠性，不容易出现变黄的问题，有助于提升光波导的美观性和使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
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