[发明专利]光波导制备方法在审
| 申请号： | 202011094109.8 | 申请日： | 2020-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN111983751A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 杜凯凯;赵东峰;李琨;臧法珩;赵恩;程鑫;杨镇源 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/124 | 分类号： | G02B6/124;G02B6/13 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 关向兰 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开一种光波导制备方法，其中，所述光波导制备方法包括以下步骤：提供一衬底；于所述衬底上涂覆纳米压印胶，对所述纳米压印胶进行纳米压印，以形成光栅图形；于所述光栅图形背向所述衬底的表面制作光栅层，所述光栅层为无机材料制成；保留所述光栅图形的光栅凹槽内的光栅层，除去所述光栅图形的纳米压印胶以及纳米压印胶表面的光栅层，以使保留的光栅层形成目标光栅。本发明通过采用无机材料制成光栅层，形成目标光栅之后，可以使目标光栅具有更好的耐高温性能，不会出现长期使用后产生变色的问题；无机材料构成的目标光栅相对硬度较高，不需要单独设置用于保护目标光栅的结构，进而可以简化光波导的结构。 | ||
| 搜索关键词： | 波导 制备 方法 | ||
【主权项】：
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