[发明专利]形状测量设备的控制方法和非易失性记录介质在审
| 申请号： | 202011091350.5 | 申请日： | 2020-10-13 |
| 公开（公告）号： | CN112729180A | 公开（公告）日： | 2021-04-30 |
| 发明（设计）人： | 榊原昇太;神谷浩 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/20;G01B7/008;G01B7/28;G01B11/00;G01B11/24;G05B19/416 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种形状测量设备的控制方法和记录介质，形状测量设备用平移移动机构和旋转驱动机构使探测器和工件相对移动以通过使探测器沿预设扫描路径移动来扫描测量工件。方法包括：操作员设置扫描路径和旋转驱动机构的转动角度命令；将关于扫描路径的数据分割成多个区段，针对各区段设置平移移动机构的平移速度模式；基于转动角度命令针对各区段计算该区段开始的转动角度值和该区段结束的转动角度值，针对各区段生成角速度模式；校正平移速度模式以减少角速度模式给出的转动命令的转动量，生成校正后平移速度模式；根据基于校正后平移速度模式的合成速度矢量驱动并控制平移移动机构，根据基于角速度模式的角速度命令同时驱动并控制旋转驱动机构。 | ||
| 搜索关键词： | 形状 测量 设备 控制 方法 非易失性 记录 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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