[发明专利]一种用于CVD涂层设备的废气中和系统

摘要

本发明涉及金属切削刀具和工模具涂层技术领域，且公开了一种用于CVD涂层设备的废气中和系统，包括带磁感开关冷却水浮子流量计、PH计与溢流集水槽框架，该用于CVD涂层设备的废气中和系统，通过废气进入口安装有N2保护系统，能够抵消一部分气蚀作用。延长了液环真空泵的使用寿命，降低了设备的成本，冷却水浮子流量计带有磁感开关，可以实时感知冷却水的流量是否达到了设定值，当冷却水流量计小于设定值，磁感开关不被触发，在延时若干秒后，系统发出流量不足的报警提醒，当冷却水流量达到或超过设定值时，磁感开关被触发，系统不会发出报警提醒，因而方便操作人员实时准确的了解冷却水的实际流量，在流量计不足时及时通过报警告知操作人员。