[发明专利]一种晶圆蚀刻的承载器

摘要

本发明公开了一种晶圆蚀刻的承载器，其结构包括顶盖、放置承载箱、开闭门、拉块，顶盖焊接于放置承载箱顶部，并且开闭门采用间隙配合安装在放置承载箱内部，通过晶圆外侧的挤压，使得夹片板对顶簧进行挤压，确保晶圆安装进入到外侧限位框内部，通过不同厚度的晶圆对海绵垫进行挤压，同时晶圆的底部通过抵触中轴和抵触板进行承托，提高晶圆中心的承托力，通过两个抵触板和支撑板形成水平三角支撑，提高晶圆底部的承托力，较少晶圆外侧表面的受力，同时晶圆的外侧进入到滑动片内部，与转动轮发生抵触，使得滑动轴能够在挤压滑轨内部进行滑动，确保转动轮贴合着晶圆的外侧进行转动，提高滑动片与晶圆之间的顺滑度，防止晶圆外侧受到磨损。