[发明专利]一种晶圆蚀刻载具设备在审
| 申请号： | 202011064354.4 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112117222A | 公开（公告）日： | 2020-12-22 |
| 发明（设计）人： | 李娜 | 申请（专利权）人： | 李娜 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201800 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶圆蚀刻载具设备，其结构包括蚀刻箱、控制器、观察窗口、排液管、滑块，控制器通过螺栓连接于蚀刻箱前侧，观察窗口嵌设于蚀刻箱右上表面，排液管贯穿于蚀刻箱右壁，滑块通过活动卡合连接于蚀刻箱前侧，本发明的有益效果在于：将晶圆放置在置物槽中，晶圆下压夹紧板使受压的支撑杆向下挤压支撑弹簧，使得夹紧板两端翘起将晶圆夹持固定，避免在蚀刻过程中晶圆晃动，置物板在底板表面滑动的过程中晶圆与擦拭块接触，晶圆推动刷拭器使转辊转动至挡板右端与限位辊接触状态，在弹性片的弹力与支撑块的支撑下使得刷条能够来回摆动，便于对晶圆表面进行刷拭，以免晶圆表面含有杂质影响后续对晶圆的安装。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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