[发明专利]一种红外探测器材料的势垒层及其制备方法

摘要

本发明涉及一种红外探测器材料的势垒层及其制备方法，属于光电子材料与器件技术领域。所述红外探测器材料结构从上向下依次为顶电极接触层、势垒层、吸收层、底电极接触层、缓冲层以及衬底；势垒层材料为掺杂5×1015～1×1016cm‑3Be的p型复合层，在吸收层上先生长AlAs0.08Sb0.92层，后生长AlSb层，之后两层交替生长形成的复合层，AlAs0.08Sb0.92层和AlSb层的厚度分别独立为1～10nm，AlAs0.08Sb0.92层与吸收层接触；势垒层厚度为100～200nm。势垒层能消除InAsSb与势垒能带结构中的价带偏移和晶格失配，改善红外探测器光生载流子的传输特性及电学性能。