[发明专利]压力传感器有效
| 申请号： | 202011055138.3 | 申请日： | 2020-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN112649142B | 公开（公告）日： | 2022-12-16 |
| 发明（设计）人： | 东条博史 | 申请（专利权）人： | 阿自倍尔株式会社 |
| 主分类号： | G01L9/04 | 分类号： | G01L9/04 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 肖华 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种压力传感器，在同时测量多个压力的压力传感器中抑制由温度、静压引起的零点漂移。压力传感器(1)在传感器芯片(10)的内部形成有两个膜片(32、33)、以分别与膜片(32、33)的上表面相接的方式配置的成为第1压力导入室的凹陷部(40、41)、以及以分别与膜片(32、33)的下表面相接的方式配置的成为第2压力导入室的凹陷部(30、31)。进而，以在被施加至膜片(32(33))的上表面和下表面的压力之差为零时，使由设置于膜片(32(33))的应变片(34‑1～34‑4(35‑1～35‑4))构成的惠斯通电桥电路的输出电压成为零的方式，将空洞(220(230))设置于传感器芯片(10)。 | ||
| 搜索关键词： | 压力传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于阿自倍尔株式会社，未经阿自倍尔株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011055138.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种冷水冲泡绿茶的制备方法
- 下一篇：外科手术支撑件装载单元
