[发明专利]自带线性热电阻校正的热电堆红外传感器及其制备方法在审
| 申请号： | 202011052511.X | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112250031A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 汪民;许玉方;李朗;汪洋 | 申请（专利权）人： | 广州德芯半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01J5/12 |
| 代理公司： | 北京中普鸿儒知识产权代理有限公司 11822 | 代理人： | 林桐苒 |
| 地址： | 510000 广东省广州市番禺区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种自带线性热电阻校正的热电堆红外传感器及其制备方法，通过改进热电堆芯片制作工艺，热电堆红外传感器本体部分和用于温度修正的PT热电阻，热电堆红外传感器本体和PT热电阻均制作在以SI基本材料的同一个基底上，由热电堆区域和线性金属热电阻补偿区域组成。相比于现有技术，本发明实现了在热电堆芯片上制作高准确度的线性Pt电阻工艺，同时增加了芯片冷区的光反射效果，实现更加有效的温度差，提高了器件的灵敏度，提高了器件的整体准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 线性 热电阻 校正 热电 红外传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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