[发明专利]一种等离子发生装置及方法有效
| 申请号： | 202011050307.4 | 申请日： | 2020-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN112188715B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 孙金海;郑岩;蔡禾;张旭涛;朱先立;刘永强;孙新学 | 申请（专利权）人： | 北京环境特性研究所 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 北京格允知识产权代理有限公司 11609 | 代理人： | 李宁宁 |
| 地址： | 100854*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种等离子发生装置及方法，其中，等离子发生装置包括：反应壳、两个极性相反的电极、抽气装置、供气装置，气压检测装置以及控制装置。本申请提供的等离子发生装置，抽气装置以第一速率强力、快速地将反应室内的空气抽走，当反应室达到第一设定气压时，通过供气装置向反应室内提供用于电离的气体，当反应室达到第二设定气压时，高压脉冲电源对两个电极供电以对气体进行电离，以使反应室内产生等离子，抽气装置以第二速率持续、缓慢地抽取反应室内的气体，让被电离的气体缓慢地动态平衡地在反应室内流动，以在反应室内产生密度相对稳定的低气压气流，防止了电离后气体的疲劳的同时提供了相对较为稳定的等离子体电离介质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 发生 装置 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京环境特性研究所，未经北京环境特性研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202011050307.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电机驱动的外骨骼
- 下一篇：一种恒流LED驱动电路、装置及其驱动方法
