[发明专利]缺陷检验的方法

摘要

本发明实施例涉及缺陷检验的方法。根据本发明的一些实施例，一种缺陷检验方法包含：接收具有多个图案的衬底；获得所述衬底的灰度图像，其中所述灰度图像包含多个区，且所述区中的每一者具有灰度值；比较每一区的所述灰度值与灰度参考以定义第一群组、第二群组及第N群组，其中所述第一群组、所述第二群组及所述第N群组中的每一者具有至少一区；执行计算以获得得分；及当所述得分大于一个值时，确定所述衬底具有ESD缺陷，且当所述得分小于所述值时，确定所述衬底不具有所述ESD缺陷。