[发明专利]一种在片上波导上的原位损耗测量装置及方法有效
| 申请号： | 202010978883.9 | 申请日： | 2020-09-17 |
| 公开（公告）号： | CN112197941B | 公开（公告）日： | 2022-06-21 |
| 发明（设计）人： | 孙一之;丁伟 | 申请（专利权）人： | 暨南大学 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 李斌 |
| 地址： | 510632 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种在片上波导上的原位损耗测量装置及方法，该方法步骤包括：搭建在片上波导上的原位损耗测量装置，调节光路使激光端面耦合进入波导中，将抖动的探针放置到待测波导某位置的中心处；抖动的探针与片上波导中的导模倏逝场相互重叠后，产生调制信号光，调制信号光为第一信号光和第二信号光的叠加；扫频激光器扫频，提取锁相放大器的解调信号；对该位置的解调信号进行傅里叶分析，得出探针的位置和该位置的相对振幅，相对振幅为第一信号光和第二信号光振幅的比值；根据具体需要测量的损耗类型选择探针需要摆放的位置，根据每个位置分析得到的探针位置和对应的相对光强信息，计算相应的损耗。本发明保证对任意尺寸的波导和任意复杂度的片上光子回路进行损耗特性原位测量的可能性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波导 原位 损耗 测量 装置 方法 | ||
【主权项】：
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