[发明专利]基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器

摘要

本发明公开了一种基于悬臂梁结构的无源无线湿度传感器，该湿度传感器包括基板(1)，电感(2)，第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)，绝缘层(5)，吸湿材料层(6)；所述电感(2)位于基板(1)的上表面，第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)位于绝缘层(5)的上表面，第一叉指电容(3)、第二叉指电容(4)与电感(2)相连；吸湿材料层(6)位于绝缘层(5)下方，吸湿材料层和绝缘层组成的湿敏悬臂梁一端与基板相连。该湿度传感器结构新颖，且能够进行无源无线检测，同时整个传感器通过微电子加工工艺，可使结构尺寸的精度达到较高水平，使得该湿度传感器具有灵敏度高、寿命长、功耗低、体积小、工艺兼容等优势。