[发明专利]弹性膜及基板保持装置在审
| 申请号： | 202010869743.8 | 申请日： | 2020-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN112440204A | 公开（公告）日： | 2021-03-05 |
| 发明（设计）人： | 程诚;富樫真吾;福岛诚;广川一人 | 申请（专利权）人： | 株式会社荏原制作所 |
| 主分类号： | B24B37/27 | 分类号： | B24B37/27 |
| 代理公司： | 上海华诚知识产权代理有限公司 31300 | 代理人： | 张丽颖 |
| 地址： | 日本国东京都*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供弹性膜及基板保持装置，弹性膜能够抑制弹性膜在周向上的变形情况的偏差并能够容易地安装于基板保持装置的头主体。本发明涉及的弹性膜(10)用于基板保持装置(1)。此弹性膜(10)具备与基板(W)抵接而将该基板(W)向研磨垫(19)按压的抵接部(11)，和从该抵接部(11)的周端部延伸的边缘周壁(33)。边缘周壁(33)具有边缘周壁唇部(33b)，该边缘周壁唇部夹在基板保持装置(1)的头主体(2)与用来将该边缘周壁(33)固定于头主体(2)的边缘安装部件(47)之间。此边缘周壁唇部(33b)的表面的至少一部分被粗糙化。 | ||
| 搜索关键词： | 弹性 保持 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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